影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素包括實(shí)際檢測(cè)條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。這次螺桿真空泵廠家分享的主要是其中離子源質(zhì)譜分析管受到污染后的維護(hù)方法。當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來源主要包括8個(gè)方面：

　　，氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。

　　第二，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。

　　第三，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。

　　第四，氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。

　　第五，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。

　　第六，檢漏儀的性能不穩(wěn)定。

　　第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。

　　第八，之后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質(zhì)、責(zé)任心、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗(yàn)等。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高，用得普遍的檢漏儀器。