氦質譜檢漏儀進展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面：

　?。?）便攜式：氦質譜檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

　?。?）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

　?。?）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節(jié)零點，量程自動轉換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

　　（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

　　（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

　　氦質譜檢漏儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦質譜檢漏儀選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。目前，檢漏技術在以下領域中得到了廣泛的應用：科學研究、航空航天、汽車制冷、軍事工業(yè)、分析儀器、發(fā)電廠、核工業(yè)、壓力容器、精密機械加工 、醫(yī)療儀器/儀表、真空爐、鍍膜設備等裝置或系統(tǒng)、高真空和超高真空的工程、半導體等行業(yè)，氦質譜檢漏儀將為您提供更快速，更經(jīng)濟，更的檢漏方案。