氦質譜檢漏儀的進展：

　　經(jīng)過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

　　集中體現(xiàn)在如下幾個方面：

　?。?）便攜式：zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

　?。?）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

　?。?）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節(jié)零點，量程自動轉換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

　?。?）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的氦質譜檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

　?。?）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

　　氦質譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識

　?。?）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；

　　（2）電磁閥組的超聲清洗；

　?。?）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。

　　氦質譜檢漏儀主要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設備內芯的制造借鑒*技術，整機設置合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點。檢漏效果達到*水平。